光学式膜厚計 NanoSpec6500

光学式膜厚計Nanospec6500とは？

FPD(フラットパネルディスプレイ)の生産ラインにおいて、ガラス基板上に塗布又は成膜された、薄膜の膜厚測定用として販売されているNanospec6500シリーズは、Nanometrics社が長年培ってきた高い光学技術やノウハウと、解析ソフトウェア、高精度なステージ駆動などの技術が凝縮されており、世界の主要FPDメーカー工場へ100台を超える納入実績があります。 そのNanospec6500シリーズの業務移管を受け、東朋テクノロジーが独自の技術でさらなる開発・付加価値を高め、 Nanospec6500シリーズの製造・販売・サービスを行っております。

信頼性高い測定ヘッド

高スループット、高精度、高信頼性の膜厚測定･膜質評価が可能
Nanospec6500の膜厚測定原理は、光の干渉方式を応用したものです。測定試料に白色光を垂直に当て、膜の上下の界面で反射した光の干渉光を、分光ヘッド部へ導き分光した光の強度を解析して膜厚値を算出します。
パターン化された微小エリアの測定を可能にするため、最小0.75μｍのスモールスポット測定をご提案します。0.75μｍスポットによる3層膜同時膜厚測定(n,k 値含む)が可能です。

単層膜/多層膜測定

Tohoカスタマイズ

設計から製造までの工程を、すべて自社で一貫して行っています。また、電気設計やCIM通信設計も同様に自社で行っており、ニーズに合わせたカスタマイズが可能です。また、専任のアプリケーションエンジニアにより、高度なレシピサポートを提供します。

用途・アプリ

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1Nanospecソフトウェア

扱いやすいユーザーインターフェースで誰でも簡単に、操作ができます。各種レシピ設定、測定パラメータ設定、データ管理、オプション機能の追加により、シート抵抗測定、接触角測定、段差測定も同一のソフトウェアで操作が可能です。

2膜厚分布表示

測定したデータから膜厚分布図を作成し、面内の状態を視覚的に捉えることが可能。各膜厚差は色分けで表示します。

33Dマップ

測定データから3Dマップを作成し、立体的に表示します。各膜厚差は色分けで表示します。

製品ラインナップ・概要仕様

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Nanospec6500

モデル	Nanospec6500シリーズ
基板サイズ	G2-G10 ガラス基板
測定波長範囲	400nm-800nm
測定膜厚範囲	10nm-20μm
多層膜測定	3－5層まで測定可能
測定スポット	0.75,5,25,50μｍ