3D形状測定装置 ZYGO FPM

3D形状測定装置 ZYGO FPMシリーズとは？

3D形状測定装置 ZYGO FPMシリーズは、高精細化が進む携帯端末や、高精細大型ディスプレイ装置に使用されるフラットパネルディスプレイの表面形状を測定するために、ザイゴ社が持つ最先端の技術を駆使して開発しました。
その多彩な測定能力は、LCD(液晶ディスプレイ)やOLED(有機ELディスプレイ)で使用されるPS(フォトスペーサー)、CF(カラーフィルター)、TFT(薄膜トランジスタ)、COA(TFT上のカラーフィルター)、MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)の測定に最適です。ザイゴ社の卓越した検査ヘッドを、弊社の定評ある自動装置に搭載し、安定かつ高性能な測定装置を提供します。

視野内の高さ情報を1スキャンで

Zygo社が知的所有権を持つ白色干渉技術(SWLI)をベースに、Zygo社の最新式式NVUHSヘッドを搭載しています。このヘッドはフラットパネル検査用として特別な開発が行われたものです。高速且つ、高精度で表面構造を観察することができるため、液晶パネルのCF基板とTFT基板の両基板において、Photo Spacerの高さ/幅やアレイ基板Patternの線幅測定が可能です。1視野内の測定であれば、およそ3秒にて測定が完了し、様々な解析ができます。

最新式解析ソフトウェアMX搭載

Zygo社製　最新式MXソフトウェアにより、様々な解析が可能です。測定した3Dデータから、特定対象物の高さ/幅を自動で解析可能。このソフトウェアは、従来のものに比べユーザーによるカスタマイズが可能で、必要な情報のみをユーザーが選択し、自由にレイアウトが可能です。また、解析プログラムも最新技術を応用し、従来では測定不可能であった90度に近い角度の面であっても測定が可能となりました。

優れたレンズ特性

この装置はZygo独自の対物レンズと組み合わせることで、その能力を最大限に発揮します。このレンズは視野内の歪が極めて少なく、レンズの周辺部分で捉えた画像であっても、正確な解析を可能にしています。

用途・アプリ

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1高さ測定

Photo Spacerの高さや幅を自動測定できます。任意の断面での形状確認や、Top/Bottomの設定を行うことで、測定対象の一部を切り出し、解析が可能です。

2線幅測定

配線の幅を自動測定できます。幅の自動算出や任意の測定場所のみの幅を算出することも可能です。

32Dマップと測定マスク

測定した3D画像を2Dマップとして表示し、測定マスクを設定することで、各ポイント間のデータ比較が自動で可能です。

製品ラインナップ・概要仕様

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Zygo-FPM

モデル	Zygo-FPM
基板サイズ	G2-G8.6　ガラス基板
測定レンジ	MAX 80μm
高さ測定再現性	20nm/3σ
線幅測定再現性	500nm/3σ
測定時間	3秒以下