段差測定装置　FPシリーズ

段差測定装置　FPシリーズとは？

針圧0.5mgから設定可能な超低針圧触針式測定ヘッド(マイクロヘッド)を搭載し、その安定した段差測定（膜厚測定）で、ディスプレイ基板用の触針式段差測定装置(膜厚測定装置)としては世界シェアNo.1の実績を持っています。

大型ディスプレイ基板用の段差測定装置FP-X/Gタイプと、小型ディスプレイ基板用のFP-Aタイプをラインナップし、用途にあわせて装置自動化やカスタマイズが可能です。

高信頼性の測定ヘッド

KLA CorporationのMicroheadを搭載しています。このMicroheadは全世界で実績があり、信頼性の高いヘッドです。座標移動軸と測定軸を分離させ、測定時には専用の軸を駆動させることで、より正確な測定データが得られます。

KLA独自LVDC Sensor

KLA CorporationのLVDC触針センサー技術を使用し、安定した測定が可能です。
この構造は、一般的なLVDT直動式センサーよりも耐久性に優れ、安定した測定ができます。また静電容量の変化も正確に捉え、より正確な測定データが得られます。

Tohoカスタマイズ

設計から製造までの工程を、すべて自社で一貫して行っています。また、電気設計やCIM通信設計も同様に自社で行っており、ニーズに合わせたカスタマイズが可能です。

用途・アプリ

続きを読む

1Profilerソフトウェア

扱いやすいユーザーインターフェースで誰でも簡単に、操作ができます。各種レシピ設定、測定パラメータ設定、データ管理、オプション機能の追加により、シート抵抗測定、接触角測定、光学式膜厚測定も同一のソフトウェアで操作が可能です。

2測定結果画面

測定結果画面からは様々な解析が可能です。測定プロファイルの最も高い点/低い点や測定カーソル内の平均値、複数ポイント測定での平均値や再現性を算出します。表示スケールは測定対象物の高さに合わせて自動でスケーリングされ、最適な状態で表示されます。

33Dマップ

2Dスキャン情報から3Dプロファイル画像の作成が可能です。作成した画像から、その断面や高さ情報を表示でき、立体的なイメージの確認や全体像から任意のポイントでのデータ確認が行えます。イメージを360度回転させることも可能です。

製品ラインナップ・概要仕様

続きを読む

FP-A

FP-Aタイプ	サンプル基板サイズ：300mm-880mm
測定レンジ	MAX 130μm
測定測定再現性	1.5nm/1σ
測定位置決め精度	±2μｍ
サンプリングレート	50-200points/sec
測定タイプ	測定ステージ(基板)移動タイプ

FP-X/G

FP-X/Gタイプ	サンプル基板サイズ：920mm-3200mm
測定レンジ	MAX 130μm
測定測定再現性	1.5nm/1σ
測定位置決め精度	±2μｍ
サンプリングレート	50-200points/sec
測定タイプ	測定ヘッド移動タイプ